三维云纹干涉仪是由云纹干涉光路和泰曼/格林干涉光路组合而成；将高灵敏度正交型光栅复制在试件的表面，并置于光路系统中，经调试后可分别获得两个面内位移场（U和V）和离面位移场（W）；激光是由单模光纤及耦合器分解和传输到光路系统中的；光路中置有PZT压电晶体，通过驱动电源控制和驱动压电晶体和反射镜来实现相移技术，相移技术可以使测量灵敏度提高一个量级，仪器还附有加载系统及调节座；配以高温炉可进行热变形测量。

技术参数及图例：

主要技术指标：

1、位移灵敏度：  面内u & v 场： 417nm (1200 线/mm)，

                             离面 w场： 266nm (l/2)

2、相移灵敏度:   ∽20nm/V

3、光场尺寸：    35×35mm

4、测试范围：    ≤20×20mm

5、条纹分辨率：  优于1/20级条纹

6、测量应变范围：10me~5%e

7、激光器：      单纵膜，20 mw， λ=532nm

8、图像采集：    CMOS摄像头，分辨率 1280 x 1024，USB接口

9、加载系统：    拉伸、压缩、弯曲三种加载方式

主要配置：

1、  主机

2、  20mW半导体激光器：1个

3、  USB摄像头（内置）：1只

4、  相移器：1个

5、  光纤：3根

6、  光纤耦合器：1套

7、  1200mm×800mm自动平衡隔振平台：1套

8、  品牌液晶台式电脑：1套

9、  拉伸、压缩、弯曲三种加载方式：1套

10、软件：1套

应用范围：

云纹干涉法是一种非接触测量面内位移和应变场的方法，具有较为广泛的应用范围。

该技术可用于测量复合材料的残余应力；测量微电子封装组件热疲劳，热湿耦合，热载荷引起的变形；可用于非接触测量航空材料在高温状态下的力学性能；还可以应用于材料构件内部的缺陷，裂纹的无损检测。应用范围非常广泛。